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卓立-氣浮導軌滑臺QF系列產品概述
說明：
QF系列是采用的靜壓氣浮導軌作為保持機構，直線電機驅動的直線滑臺。該系列滑臺具有 高穩定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導軌為保持機構，工作過程沒有摩擦，無灰塵產生，沒有爬行現象。直線電機作為驅動機構，齒槽小，分辨率高，輕松實現亞微米級定位需求。產品尺寸較多，可以根據需要靈活選擇，QF 系列產品適合用于半導體行業或其他對于精密位移亞微米級調整有需求的客戶。臺面多種標準孔位的安裝孔適合不同需要，下方標準固定孔方便將其與其他滑臺連接，組成多維移動臺。
特點：
· 采用氣浮靜壓導軌，運動無爬行，直線度好，負載可控制， 穩定性好；
· 采用直線電機，微步能力好，驅動力可控，速度穩定；
卓立-氣浮導軌滑臺QF系列命名規則：
QF 25-300 S-BNA
QF 系列代碼： QF:單軸空氣軸承類滑臺 QFD:XY組合空氣軸承類滑臺 QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺 |
25 臺面寬度： 25:250mm 30:300mm |
300 有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm |
S 基座材質： A:鋁合金 S:大理石 C:碳化硅 |
B 分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm |
N 電機類型： N:無鐵芯 M:有鐵芯 |
A 臺面材質： A:鋁合金 T:其它 |
以上命名規則除技術規格列表內標準產品，其余配置請聯系銷售進行定制。
QF系列氣浮導軌滑臺選項表
型號 | QF25-100A-BNA | QF25-200A-BNA | QF25-300A-BNA | QF25-400A-BNA |
臺面尺寸(mm) | 245x200(運動方向) | |||
厚度(mm) | 120 | |||
移動量(mm) | 100 | 200 | 300 | 400 |
光柵尺分辨率(nm) | 20 | |||
驅動方式 | 無鐵芯直線電機 | |||
導軌 | 一體式靜壓導軌 | |||
雙向重復精度(μm) | 0.4 | |||
無*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直線度(μm) | 2 | 2.5 | 3 | 3 |
俯仰(arcsec) | 4.5 | |||
偏擺(arcsec) | 2.1 | |||
主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色硬質陽極氧化處理 | |||
中心負載(Kg) | 10/μm | |||
型號 | QF25-400S-BNA | QF25-500S-BNA | QF25-600S-BNA | QF25-800S-BNA |
臺面尺寸(mm) | 290x200(運動方向) | |||
厚度(mm) | 189 | |||
移動量(mm) | 400 | 500 | 600 | 800 |
光柵尺分辨率(nm) | 20 | |||
驅動方式 | 無鐵芯直線電機 | |||
導軌 | 氣浮腳式靜壓導軌 | |||
雙向重復精度(um) | 0.3 | |||
無*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直線度(μm) | 2 | 3 | 5 | 5 |
俯仰(arcsec) | 2 | |||
偏擺(arcsec) | 2 | |||
主體材料及表面處理 | 大理石，鋁合金 | |||
中心負載(Kg) | 15/um | |||
說明 ：
1.以上測試數據在使用TMC-NET-2L 控制系統下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環境下隔振系統所測試；
2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；
3.測試環境介于萬級~十萬級潔凈空間內；
4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。
特點和選型指導
項目 | xxxA | xxxS | xxxC |
材質 | 鋁合金 | 大理石 | 碳化硅陶瓷 |
導軌長度(mm) | 200~800 | 400~3000 | 400~2000 |
外形尺寸(mm) | 超小~中 | 中~超大 | 小、中、大 |
制作方式 | 機加工 | 磨削 | 燒制 |
重復精度(μm) | 0.3 | 0.3 | 0.25 |
直線度(μm) | 1~3 | 2~5 | 2~3 |
組合形式 | X, XY(小) | X、XY、龍門 | X、XY、龍門 |
造價(元) | 1~10 | 5~100 | 50~1000 |
尺寸圖：
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